真空气氛炉，蓝宝石退火炉

产品描述

蓝宝石退火炉，是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片新式退火炉。 该炉采用进口1900型硅钼棒作为发热体和本公司专利的氧化锆内衬炉膛。可在1700℃下连续使用，Z高温度达1800℃。侧开式炉门，易于样品装载，并可加装通气口，可在氧气或惰性气氛下操作壳体结构，炉膛内部温度稳定度达±1℃，Z高温度为1800℃。采用双层壳体结构和51段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用外壳整体密封、盖板密封采用硅胶泥、炉门采用硅胶垫并通有水冷系统，气体经过流量计后由后膛进出，有多处洗炉膛进气口、出气口处有燃烧嘴，可以通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是晶体材料退硬度用的理想产品。